
Guias de rolos altamente precisos para mesas de coordenadas.
Para imprimir as estruturas nos chips, eles são revestidos com resina foto-sensível. A resina foto-sensível é iluminada através de uma máscara e ela se movimenta onde a luz incide.
Na produção dos semi-condutores da próxima geração serão utilizadas estruturas com menos de 60 nm, para alcançarmos alta capacidade de memória e velocidade.
Mesas de coordenadas movidas com motores lineares garantem o movimento do substrato e da máscara de projeção. A base da máquina foram uma estrutura estável, amortecendo as oscilações e um guia altamente preciso, por exemplo o guia linear de rolos INA RUE. Este guia é de baixíma emissão de ruído e possui uma resistência uniforme ao movimento e deslocamento - adequado para posicionamentos repetidos e exatos.